二手 SEMITOOL Equinox #9023046 待售

製造商
SEMITOOL
模型
Equinox
ID: 9023046
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Plating system, 8" Single wafer processing SRD and plating (5) Chambers: (1) Pre-SRD (1) Electroless CP (2) CPC ECD plating (1) Final SRD 1998 vintage.
SEMITOOL Equinox是一種光刻設備,專為抗蝕劑材料和蝕刻工藝的精確應用而設計。它是一個成本效益高、高度穩健的系統,為支持半導體制造業的需求而開發。春分點單元可以處理廣泛的過程,包括濕蝕刻、幹蝕刻、濺射和化學機械拋光(CMP)。該機專為單晶片應用而設計,提供了較高的晶片處理精度。它還具有低基材消耗、低操作成本等特點。該工具配有板載控制器,支持高級診斷、配方和配方測試,以及自動過程性能監控。它還提供了高度的精確度,其選擇性蝕刻功能確保在不影響精度的情況下實現所需的結果。該資產由四個獨立的腔室組成,並提供了一個隔離的模型環境,以避免交叉汙染和意外將顆粒引入工藝腔室。這樣可以節省時間、能源並提高工藝產量。設備的晶片架允許方便的基板裝載、卸載和晶片運輸,其腔室設計方便晶片居中。它還具有現場級漂移監測系統,進一步提高了精度。SEMITOOL Equinox單元有兩種操作模式:手動操作或自動操作。手動模式通常提供較低的吞吐量,但允許更好地控制流程參數。自動化模式提供了更高的吞吐量和更低的機器成本,但需要更高級別的過程控制和專業知識。除了出色的處理能力外,Equinox工具還配有多種配件和升級選項。這包括紡紗廠、晶圓輻照系統、增強型離子源模塊、高級後端模塊以及旨在提高工藝準確性的各種軟件選項。總之,SEMITOOL Equinox資產是一種先進的光刻膠模型,旨在幫助制造商達到高性能水平,同時將成本和能耗保持在最低水平。它具有廣泛的功能,確保用戶能夠找到滿足其特定應用程序需求的最佳解決方案。
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