二手 SEMITOOL Equinox #9023047 待售
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ID: 9023047
晶圓大小: 6"
Etcher, 6"
Manual copper electroless
Single cup system
(2) Chambers
(2) Tanks.
SEMITOOL Equinox是一種光阻剝離設備，設計用於先進的微加工工藝。它通過對光刻膠層施加強烈劑量的紫外線來運作，使其在某些區域破裂。通過控制光的劑量和改變頻率，可以操縱暴露區域的形狀來創建特定的模式。該系統設計用於處理高達150毫米的晶片尺寸，分辨率小至1 µm。該裝置用於快速剝離各類用於微電子制造的光刻膠。這包括酸性和堿性光致抗蝕劑、深紫外光致抗蝕劑和其他特種光致抗蝕劑。該機還能夠從記憶電路、邏輯器件和其他復雜結構等小特性中精細分辨率去除光刻膠。Equinox設計為fl exible and customizable,所以可以量身定制以滿足各種基材的要求。它具有數字控制工具和用戶友好的圖形界面。這使得設置和調整參數變得容易，大大提高了過程的一致性。資產的高級工程還確保了盡可能短的過程時間,這有助於提高吞吐量。它還減少了光致抗蝕劑剝離過程中產生的廢物量。該模型還在低溫下運行，從而降低了損壞細膩零件的風險。SEMITOOL Equinox的設計考慮到安全性，有自動電源關閉和互鎖到位，以防止意外曝光。此外，它還配備了帶有二級和三級安全聯鎖的1級激光設備，以確保安全運行。Equinox具有卓越的性能、可靠性和安全特性,是廣泛光刻剝離應用的完美工具。從內存電路，到邏輯設備，再到其他復雜的結構，SEMITOOL Equinox是實現專業成果的首選工具。
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