二手 SEMITOOL Equinox #9207969 待售

SEMITOOL Equinox是一種設計用於半導體晶圓加工的高精度光刻加工設備。它旨在提供可靠、精確的光刻膠沈積到晶片上，從而為高性能微電子器件生產亞微米級電路設計。Equinox系統設計用於高精度和可重復的光刻塗層。利用專利預處理技術，保證了光敏沈積的良好附著力和均勻性。該裝置包括一個用於制備光刻膠表面的幹化學噴霧器，一個用於沈積光刻膠的自旋塗層，以及一個專門的低溫倒後烘烤，有助於將光刻膠層正確固定在晶片上。SEMITOOL Equinox機器還具有自動端點檢測功能，在沈積厚度不同的多個光刻層時提供準確的結果。它具有包括氧氮、氮、無聲氙氣、高壓幹式排氣等多種溫度控制模式。這可以更精確地控制塗層工藝，這對於生產各種厚度的高質量光刻膠層至關重要。Equinox工具具有內置的安全協議,可提供一致和可靠的性能,並防止資產超載或損壞。它有一個復雜的致密升華模型，確保從一層到另一層均勻和可重復的沈積。它還有一個無汙染的環境，它消除了靜態和氣溶膠汙染的引入，使隨後的設備層保持清潔，沒有缺陷。SEMITOOL Equinox具有廣泛的工藝能力，可以輕松處理SU-8、AZ、BISMOC、PMMA等各種光刻膠類型。它設計用於每小時處理多達25個晶片，為延長光刻沈積時間提供卓越的工藝控制和可靠性。它采用獨特的多點旋轉塗層方法，保證了統一、可重復的工藝性能。總體而言，Equinox是一種高精度的光敏處理設備，設計用於半導體晶圓處理，提供精確和可重復的光敏沈積。它具有一系列先進的特性和工藝能力，以確保高性能微電子器件的快速、高效、可靠的光刻塗層。