二手 SEMITOOL Equinox #9227332 待售
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單擊可縮放
ID: 9227332
晶圓大小: 6"
優質的: 2005
Plating system, 6"
(4) Plating chambers
(2) Preclean / SRD Chambers
GENMARK Radial robot
Tank ultrasonic level sensor
ARU Interface
Levitronix pumps
Surpass flow meters
PALL Filter housings, 10" (Plating cells)
PALL Filter, 4" (Prewet tank)
Sample port
Fire suppression system
Chemical bulk fill
DYNATRONIX Pro series plating power supply (4-Cells)
Tank heat exchange connection
Power requirements: 208 VAC, 80 A, 50/60 Hz
2005 vintage.
SEMITOOL Equinox是一款光刻設備,由一家領先的半導體設備制造商開發,旨在以極高的精度和精確度提供光刻材料的制造。機器使用激光輔助蝕刻技術來增加或改變其地形。這種光刻技術也被稱為「Direct Write」,因為這臺機器能夠制作出復雜形狀的詳細層。Equinox系統具有高分辨率的激光源,用於在光致抗蝕劑材料的表面上產生微小的激光微圖案。這種激光器能夠在每次測量時自我對齊,以確保所有詳細的結構都被精確放置。利用這種裝置,用戶可以在各種形狀和大小的晶片上,從長方形的矽片到成形的基板,精確地繪制光刻層圖樣。SEMITOOL Equinox光刻裝置包括強大的成像和分析軟件。該軟件允許在線監控蝕刻過程,允許用戶調整激光等參數的定位,以實現更好的質量蝕刻。其強大的成像模塊還允許用戶實時可視化蝕刻結果。由於Equinox光刻機設計用於生產環境中,因此能夠以高度可靠的方式準確運行。它可以在批量或單工藝配置中處理基板,甚至可以在極其苛刻的環境中操作。此外,該工具還具有智能傳感器,用於檢測制造過程中的任何故障。最後,SEMITOOL Equinox光致抗蝕劑資產的設計是安全和經濟高效的。這是通過使用最新的安全技術和最經濟的方法來加工光敏材料來實現的。其自動化和高效的流程保證了一致和業界領先的結果。該模型還被設計為適合在各種基板上使用,同時提供最合適的性價比。
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