二手 SEMITOOL Equinox #9229811 待售

SEMITOOL Equinox是一款高性能、多室光刻設備，專為等離子體蝕刻、PVD、條帶和清潔工藝而設計。其開發是為了滿足尖端微電子產業的需求，並提供優越的薄膜加工能力，使制造商能夠保持競爭力。Equinox是一個完全集成的系統,可實現超細特征制造,非常適合先進的光和MEMS設備制造技術。它設有三個獨立的加工室，總容量為1 000升。腔室可以在0.25至50 torr的壓力範圍內運作，溫度可達300 °C。每個腔室都可以安裝各種組合的插槽和針腳光掩模、狹縫面罩和陰影處理板,從而為所有薄膜、蝕刻和帶狀工藝提供精確的圖樣。三個獨立的工藝室與專門設計的SEMITOOL Equinox工藝控制單元*協同工作。這臺智能機器可以單獨監控每個腔室，並根據需要進行實時流程調整。此外，Equinox Process Control Tool可以執行資產診斷、晶圓跟蹤、配方控制和統計過程控制，以確保最佳效率和性能。SEMITOOL Equinox配備了獨特的多級端點檢測模型，允許操作員在暴露於等離子體蝕刻、PVD和濕蝕刻操作過程中監控過程。利用多級端點檢測設備,制造商能夠準確監控蝕刻輪廓並確定何時達到預期的效果。Equinox提供卓越的光刻膠系統性能和無與倫比的質量控制。這個先進的單元簡化了制造過程，使制造商能夠以更高的精度和速度創建復雜的結構。SEMITOOL Equinox的占地面積小、設計靈活、過程控制能力全面，是精密高效光敏處理的理想選擇。