二手 SEMITOOL Equinox #9243044 待售

SEMITOOL Equinox是為半導體工業高效處理和處理光刻膠而設計的光刻膠設備。它是一個完全集成的解決方案,為配方開發和自動化提供了可靠的平臺。該系統采用端到端光致抗蝕劑工藝，包括預處理、多個面包師模塊、塗層、曝光、開發、烘焙和後期處理。該設備包括一個自動線路功能,使其能夠無縫集成到工廠自動化控制環境中。它可以配置為接受來自前端處理設備的晶圓載波並將其輸出到下一個過程步驟。該機設計為使用多種光刻膠操作，並成功處理多種塗層、曝光、顯影和烘烤工藝。該工具配有先進的控制軟件，便於精確控制腔室、模塊、過程輸入和輸出。每個模塊都可以通過專有控制軟件獨立控制。該軟件允許開發和存儲各種光刻膠應用程序的工藝配方。該資產包括易於使用的觸摸屏控件和10.4英寸TFT液晶顯示屏,可實時監控和調整流程。春分還配備了車載攝像頭，用於目視檢查驗證。還配備了溫度探頭，用於精確的溫度監測和控制。該車型配備了廣泛的安全功能，包括加入了一個有專利的安全聯鎖設備，以防打開車門時系統意外運行。此外,它還具有斷路器安全單元,在發生故障或故障時自動關閉機器電源。所有工具操作均由一臺持續運行的主機計算機監控。總體而言，SEMITOOL Equinox是一種先進的光阻資產，設計用於高效可靠的操作。它提供了開發光刻膠配方和自動化的綜合平臺，以及用於精確過程監測和調整的高級控制軟件。此外,它還配備了多種安全功能,以確保安全運行。