二手 SEMITOOL Equinox #9377488 待售

SEMITOOL Equinox是一款先進的光阻設備，旨在為半導體和其他納米級器件的生產提供精度、重復性和質量。該系統由一系列步驟組成，這些步驟可在經過拋光至光滑表面處理的基板上形成光刻膠薄膜。該單元提供了一個環境腔室，以確保光致抗蝕劑在整個晶片上均勻應用。機器還包括一個集成的晶片掃描工具，測量晶片厚度，允許現場控制和監測光刻膠厚度，必要時自動調整光刻膠層厚度。然後用紫外線（UV）照射光刻膠層，其強度可以精確控制和監測。紫外線照射導致光致抗蝕劑在晶片上形成圖樣。然後進行曝光後烘烤步驟，將殘留的溶劑煮出，並使光刻膠硬化，以進行其他過程，如蝕刻、沈積和光刻。光刻工藝是確保將產生的光刻膠圖案完美復制到納米級的關鍵步驟。春分包括一個板載蝕刻工藝，用於蝕刻晶圓中的光刻圖樣。這臺機器還允許微調蝕刻工藝，以達到更高的精度和準確度。此外，該資產被設計為在光刻過程的所有階段提供高溫均勻性。這確保了光刻膠層的均勻沈積，防止蝕刻輪廓出現偏差，並允許每個樣品具有完全相同的特性，即使從一個晶片到另一個晶片略有不同。簡而言之，SEMITOOL Equinox是一種強大的光刻膠模型，可用於開發高精度的納米級器件。它包括多個集成的系統，以確保在過程的所有階段均勻的光刻層、精確和精確的蝕刻以及均勻的高溫。設備還提供板載晶圓掃描系統，以實現實時監控。