二手 SEMITOOL Equinox #9408167 待售
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SEMITOOL Equinox是為半導體晶圓加工中的幹膜應用而設計的光阻處理設備。它是專為在大批量生產環境中使用而設計的,它提供了一種全自動、自動操作的方法來抵抗晶圓表面的塗層。該系統采用專有的針杯晶片傳輸裝置，配有紫外線光源和將抗蝕劑輸送到晶片表面的精密氣體輸送機。Equinox的銷杯工具允許晶片之間更快的吞吐量和一致的塗層質量，以及容易檢索塗層晶片。該資產還具有現場清潔能力，以確保清潔處理環境。SEMITOOL Equinox能夠以5至12微米的厚度輸送抗性材料。晶圓傳輸速度是可調的，能夠處理高達150晶圓每小時。Equinox的UV光源使用了一系列以365納米波長發射UV光的燈，非常適合光刻工藝。它還有一個可變電源，用於控制光源的強度。此外，SEMITOOL Equinox有一個控制抗蝕劑材料輸送的全自動模型，最多有四個不同的壓力傳感器點，以及一些氣體和化學輸送方法，如冒泡和濺射。春分利用獨特的空氣過濾設備來保持機器內一致的空氣質量。該系統過濾通過一組過濾墊進入機器的空氣，確保清潔的處理環境，汙染最小。SEMITOOL Equinox是一種用於光刻和半導體晶圓加工的強大工具，提供了一種高效、自動化的抗塗層方法。它提供了廣泛的能力，使其適合大批量生產環境，以及研發實驗室。
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