二手 SEMITOOL / M-TECH ST-870 #9265364 待售

SEMITOOL/M-TECH ST-870光刻設備是市場上最先進的旋轉塗層之一,具有提供經濟高效、高質量結果的能力。M-TECH ST-870的設計旨在確保在塗覆各種基材（包括矽、石英、玻璃和砷化氙）時具有精確、均勻的薄膜厚度。它提供了內置各種自動化的高級控制軟件包。該系統允許用戶控制電機調整，建立零件重量輪廓，維護關鍵基板參數。SEMITOOL ST-870的旋轉頭框架設計由三個主要組成部分組成：不銹鋼旋轉框架工作、框架裝配和可選的「真空框架」。這種設計可以保證基板的牢固附著，確保塗層時的準確性和一致性。不銹鋼結構，加上耐腐蝕的材料表面處理，提供額外的耐用性。框架組件在塗層過程中將旋轉頭固定到位。它還具有可調節角度的自動臂,允許噴灑各種基板角度,而無需改變旋轉方向。ST-870具有溫度控制的加熱熱浴，以及強制空氣冷卻工藝，以提高性能。該單元可用於以高達2000 RPM的速度塗覆單個或多個基板，確保每次均勻、均勻的薄膜。電機扭矩從啟動速度可調至高達33 G-cm。電機可調自動復制使用戶能夠設置連續循環運行的初始周期時間和結束時間。此外，沖洗選項允許用最小的努力重新設計受汙染的基板。SEMITOOL/M-TECH ST-870具有催化劑塗層、分子層沈積（MLD）和對苯二甲酸CSD™等多種特定的應用工藝,具有優異的光敏器件保護性能。它還有一個具有多個可調參數的診斷機，用於優化性能和減少周期時間。該工具包括一個資產控制板，可以連接到中央數據管理模型，從而更輕松、更高效地控制流程。M-TECH ST-870配備了集成操作和過程管理監控及文檔控制套件,以提高設備可靠性。綜上所述，SEMITOOL ST-870光致抗蝕劑設備是當今市場上最先進的旋轉塗層之一，提供了一種高性能的解決方案，可以在塗覆各種基板的同時保持均勻的薄膜厚度。它具有卓越的可靠性,具有溫度控制浴池和強制空氣冷卻工藝,可提高性能。ST-870是高度可定制的,有許多特定於應用程序的過程和可調整的參數來優化性能。它還配備了綜合業務和流程管理監測軟件，以改進數據管理。