二手 SEMITOOL Millennium #9207932 待售

SEMITOOL Millennium是為滿足半導體工業的高精度需求而設計的光阻設備。它能夠在半導體上產生非常薄且高度均勻的蝕刻圖樣，用於各種用途，從制造深沈的氛圍到形成極細的線條和其他形狀。該系統采用化學抑制工藝，以確保即使在不同的底物和工藝條件下，也能確保少量缺陷和高一致性的蝕刻圖案。該設備用途廣泛，可針對各種基材和光刻膠進行調整，以最好地滿足客戶的需求。千年對光刻蝕刻工藝采用三階段方法。第一階段由光刻塗層工藝組成，在基板表面形成一層薄而均勻的抗蝕層。其次,使用剖面圖確定所需的蝕刻深度。然後將這些信息輸入到第三階段：一個專門的計算機控制的蝕刻機，它進行實際的光刻圖樣。這三個階段的設計都是為了提供最高分辨率、最均勻的蝕刻圖案。SEMITOOL Millennium工具還配備了一系列工具，以確保蝕刻過程的準確性和統一性。這些工具包括自動特征識別（AFR）資產,可確保在每個步驟中優化過程。此模型節省了時間,消除了蝕刻過程與所需模式之間的差異。此外,設備還具有高分辨率（HR）工具,可以對蝕刻深度進行高度精確的測量。這在需要達到50微米的蝕刻深度的情況下特別有用。最後，系統還有一個故障檢測單元，它可以檢測潛在的錯誤，例如光刻膠加載不當，可能導致蝕刻故障。最後，Millennium是一種先進的光致抗蝕劑機器，旨在滿足半導體工業的迫切需求。它利用化學抑制的蝕刻工藝在不同的基材和工藝條件下進行均勻且無缺陷的蝕刻，並利用工具確保最高精度和均勻性。此外,它用途廣泛,可以根據客戶的需要進行定制。