二手 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645 待售

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU是專為先進半導體制造而設計的光刻設備。該系統將光源、工藝室和溫度控制系統結合在一個單一的解決方案中。它還具有一個發光陣列（LEA）在處理室內，允許在寬基板改善光覆蓋。光源基於直接耦合發光二極管（LED）陣列,該陣列可產生高強度、窄光譜、紫外線照射（從250到405 nm）,同時保持溫度曲線低至149 °C。這確保了材料的均勻化和均勻化處理。此外，光斑尺寸可以調整，以適應不同尺寸的基板。工藝室密封加壓，采用集成換熱器，保持基板溫度均勻。這個腔室還配備了真空元件，允許利用惰性氣體創造無大氣的加工環境。溫度控制單元由三個獨立的溫度控制元件組成：陶瓷加熱器、電加熱板和熱板。陶瓷加熱器保持基板的所需溫度，而采用EHP和熱板來控制加工室的溫度輪廓。OEM SAT 2081D2PCCU光刻機為超快處理而設計，最大循環時間為兩秒。它還具有抗反射技術和先進的基板處理功能,非常適合創建復雜的設備。該工具靈活的電源設置和安全的提前光屏蔽提供了基板的均勻曝光，減少了由於邊緣效應造成的錯誤處理。此外，該資產還具有卓越的可重復性和整體性能，即使在最嚴格的工業條件下也具有很高的可靠性。總體而言，SEMITOOL SAT 2081D2PCCU是一種精心設計的光電抗蝕劑模型，專為快速精確的半導體制造而設計。它提供可靠的性能,同時有效地管理處理環境中的溫度變化。它能夠處理各種基板，使其成為先進半導體器件生產的理想選擇。