二手 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400646 待售

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU是設計用於各種半導體制造工藝的光刻設備。該系統由高精度、高真空薄膜沈積源、反應管和高真空工藝室組成。薄膜沈積源是一種6軸快速脈沖直流電子槍，設計用於將各種金屬和絕緣體如氮化鈦直接沈積到晶片表面上。它還能夠將其他材料，如二氧化矽沈積到基材中。反應管是一種以高流量循環光敏溶液的旋轉型裝置。此過程用於將基板的特定部分轉換為光刻膠掩模。該工藝室是一個大的不銹鋼真空室，容納薄膜沈澱源和反應管。它能夠維持10-7至10-8 Torr範圍內的真空水平。除硬件組件外，該單元還包括一個專有軟件包，使用戶能夠創建針對特定沈積和光刻過程量身定制的配方。配方允許精確控制機器參數，如沈積材料的厚度、光刻膠流經反應管的速率、薄膜沈積源定位的角度以及工藝室內的真空壓力。該工具設計用於批量加工，適用於各種尺寸的半導體制造商。它提供高吞吐量、出色的過程控制以及顯著的成本和時間節約。此外，資產非常可靠，平均失敗率介於99.9%以上。這確保了每個過程的安全性和效率,並消除了頻繁維護的需要。OEM SAT 2081D2PCCU是一種可靠、經濟高效的光刻膠模型,非常適合各種半導體制造工藝。它的多種特性和功能使其成為希望簡化其光刻工藝的客戶的首要選擇。