二手 SEMITOOL Paragon LT-210 #9115016 待售

SEMITOOL Paragon LT-210是為大體積晶圓加工而設計的一種頂級光刻加工設備。該系統旨在提供從自旋塗層到阻抗去除的所有晶片工藝的卓越均勻性和控制性。典範LT-210裝置包括一個多區氣體輸送機，它為所有工藝區提供單獨的氣體控制，使溫度、壓力和氣體流動得到快速和精確的控制。集成的UV LED照明工具允許在整個工藝室內均勻分布UV照明,以便在光刻等工藝中實現最大的均勻性和可重復性。該資產還配備了先進的六軸機械臂和集成的牙科機器人,可精確執行關鍵的流程步驟。牙科機器人是一個創新的特點，允許精確，精確對準光刻面罩和抵抗。此外,機械臂還可確保關鍵過程步驟的精確和可重復執行。SEMITOOL Paragon LT-210建立在一個高度可靠的精密晶圓傳輸模型的基礎上，該模型結合了設備的最大正常運行時間和可靠性。該系統還采用了SEMITOOL專利的ShuttleFlo渦輪真空泵機，它提供了蒸氣從加工室的快速排空，用於快速晶圓翻轉。此外，Paragon LT-210機還包括一個集成的數據記錄和分析工具，可以安全、高效地記錄過程參數和對晶圓過程結果的詳細分析。這樣可以精確控制晶片表面電阻率和其他關鍵工藝參數，產生更好的晶片產量和改進的工藝控制。總體而言，SEMITOOL Paragon LT-210是一種全面的光阻處理資產，旨在為大體積晶圓工藝應用提供最大的控制、可靠性和工藝精度。該模型建立在高度可靠的硬件組件和集成的分析包的基礎上,用於詳細的過程分析。該設備針對最高產量和可重復性進行了優化，使其成為行業晶圓加工需求的絕佳選擇。