二手 SEMITOOL Paragon #293636054 待售
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SEMITOOL Paragon是一款專為半導體工業晶圓加工而設計的光阻設備。該系統是圍繞一種專利光刻工藝而建立的，這種工藝允許基板使用光敏聚合物（光致抗蝕劑）進行圖樣化，以便隨後可以使用蝕刻和其他制造工藝來創建所需的裝置結構。典範光致抗蝕劑單元由四個主要成分組成.這些包括光刻處理器、抗蝕劑噴霧器、顯影浴和自旋幹浴。光刻處理器是機器中最重要的部件，它利用投影的圖樣光將光刻膠暴露在基板上。抗蝕劑噴霧器用於在基板上塗抹均勻的光致抗蝕劑層，然後再將其暴露在圖案化的光照下。然後使用顯影浴進一步加工光刻膠。這樣做是為了方便蝕刻過程。最後，自旋幹浴用於去除基板上殘留的任何光致抗蝕劑，並確保基板完全清潔。SEMITOOL Paragon光刻工具具有許多優點.它易於維護和操作，占地面積小，快速、可靠且可重復。此外，該資產能夠處理各種各樣的光刻膠和基材，使其成為需要更高精度和精確度的應用的理想選擇。總體而言,Paragon光刻膠模型是半導體工業的寶貴工具.它結合了高性能和可靠性，保證了它非常適合小型電子設備的精密制造。
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