二手 SEMITOOL PSC-101 #137503 待售

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SEMITOOL PSC-101
已售出
製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 137503
晶圓大小: 6"
優質的: 2006
Spin rinse dryer, 6", 2006 vintage.
SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一種用於復雜微電子制造過程的強大而可靠的自動化處理系統。它為創建高級電子元件和設備提供了高度的靈活性和成本效益。SEMITOOL PSC 101具有雙腔室單元,旨在與抗顯影、塗層、紡紗、烘烤等工藝配合使用。加熱的烤盤的溫度範圍可達200 °C,平均速率可達5 °C/min,而可編程計時器的時間範圍可達180秒。該機還允許使用可拆卸的洗滌籃、防止過度攪拌的內置傳感器、小容量清潔劑輸送工具和排水槽方便清洗和維護。PSC-101使用直觀的觸摸屏界面使圖形驅動的編程變得簡單明了。此功能允許用戶快速設置塗層參數並建立所需的層厚度輪廓。也可用於記錄和存儲預先編程的處理配方,用於重復方法。PSC 101可實現快速高效的光刻塗層和開發,每個腔室有兩個獨立的源,包括中速和高速旋轉過程,以實現更快的輸送。易用的前蓋在更換晶片時提供了方便。SEMITOOL PSC-101還提供專門為掩模對準和光刻精度而設計的高級功能。獲得專利的MaskMaster光學對準資產可實現亞微米、即時對準,從而更快、更精確地對準晶片。左右打印頭可提供快速對準時間和改進的可重復性,而雙乳劑旋轉模型允許在一個晶片上同時旋轉。綜上所述,SEMITOOL PSC 101是一款先進、可靠且經濟實惠的設備,它提供了廣泛的特性和功能,以滿足苛刻的工業應用的需求。它是一個強大的自動化系統,旨在提高生產率,減少成功執行光刻塗層和開發等過程所需的時間。
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