二手 SEMITOOL PSC-101 #293600518 待售

SEMITOOL PSC-101是由SEMITOOL, Inc.開發的光刻設備。該系統旨在使制造商能夠快速、準確地以高精度和質量制造產品。該裝置的主要部件包括：潔凈室控制的工藝室、自動基板轉移機器人和噴霧機器人。該工藝室的設計目的是為光致抗蝕劑加工提供一個清潔和無菌的環境，並具有集成的自動配對工藝，從而能夠快速和可靠地開發基板。自動基板傳輸機器人以安全和受控的方式將晶片從輸入傳輸到輸出。最後，噴霧機器人配備了高精度的噴嘴機，確保光刻膠在基板上的均勻應用。該工具可以處理各種各樣的基材，包括矽片、玻璃、石英和聚酰亞胺。它還提供了幾種不同的塗層，如聚酰亞胺對苯二酚、聚酰亞胺氟醇、聚酰亞胺聚酰胺、聚酰亞胺SiLK、聚酰亞胺BN和聚酰亞胺丙烯酸。資產可使用多種光刻膠，包括DryFilm Autoloader、Resist Type III （Type TX-1）、DryFilm AP300和Resistist Exposure Kit。此外，該模型可與多種激光器配合使用，用於光敏超敏反應。SEMITOOL PSC 101的製程室設有幾個功能，以提高精度。其中包括：快速熱處理設備、溫度控制室、雙基板加熱器、均勻控制系統和工藝監測器。快速熱處理單元可以創造最小循環次數的高質量噴霧，減少循環時間，提高效率。溫度控制的腔室使使用者能夠在攝氏0-500度控制腔室的溫度，允許精確且可重複的結果。雙基板加熱器在加工過程中將基板保持在相同溫度，而均勻性控制機則確保均勻曝光。最後,流程監視器允許用戶監控光刻膠曝光過程,使制造商能夠快速診斷和解決任何潛在問題。PSC-101是希望提高精度和縮短循環時間的光刻膠制造商的理想工具。該工具具有自動化過程、潔凈室控制過程和各種兼容光刻膠,是一種可靠、高效的工具,可提高質量並降低成本。