二手 SEMITOOL PSC-101 #293639634 待售

SEMITOOL PSC-101光刻設備是一種綜合性的、綜合性的光刻系統，專門為電子和微電子領域的微小、高分辨率組件的精確生產而設計。SEMITOOL PSC 101利用自動化控制和監測系統，以及先進的光學、精密激光溫度控制和環境管理系統。該單元由三個主要組成部分組成。它們是：一種光刻膠旋轉機，用於塗抹和去除光刻膠；一種高分辨率的曝光工具，用於精確地曝光光抗蝕劑基板；以及用於清潔、開發和蝕刻部件的濕加工站。光致抗蝕劑自旋資產包括一個集成控制器、自旋電機、自旋卡盤和真空泵-所有這些都是為了支持光致抗蝕劑在極其精確的體積中的精確應用而設計的。曝光模型采用激光控制和聚焦設備，可以精確控制曝光源的距離和角度。這樣可以確保高強度曝光,並產生極高的分辨率,從而使即使是最小的特征也能以最精確的方式進行蝕刻和開發。最後,濕式加工站允許控制部件的蝕刻和清洗,並對溫度、壓力和其他參數等變量進行自動化過程控制。PSC-101為各種光刻膠加工需求提供了全面的解決方案,包括生產極小的幾何形狀、高分辨率元件和其他精細元件。其先進的系統設計確保了高水平的可靠性、準確性和可重復性,使其成為滿足任何精確處理需求的理想選擇。