二手 SEMITOOL PSC-101 #293725377 待售
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SEMITOOL PSC-101光刻設備是為光刻應用而設計的精密塗層工具。該系統提供了廣泛的特性和功能，使用戶能夠準確、一致地將光敏抗蝕劑塗在半導體晶片上。該單元的主要部件是機身、電源模塊、工藝控制器、噴嘴和遮罩板。機體包括驅動馬達和傳動、支撐釘工具和進壓機構。電源模塊控制驅動器的速度和電源要求，並處理電氣連接器的電源。過程控制器控制著從電源設置到烹飪設置的所有內容，包括光刻膠的分布以及烹飪和冷卻參數。然後噴嘴將光刻膠分布在晶圓的表面上。最後，利用遮罩板確保光刻膠層與基板的精確對準。光致抗蝕劑可以通過兩種方式進行，第一種是使用旋轉晶片級，第二種是使用掩模板。旋轉晶片級利用真空卡盤將晶片固定到位，轉盤旋轉晶片。這讓使用者可以旋轉晶片，使他們能夠準確而均勻地將光刻膠塗覆到表面。掩模板技術用於在晶片的每一側創建均勻塗層,同時避免層之間的任何重叠。SEMITOOL PSC 101光刻資產控制器具有多種特性和設置。它可以被編程為精確控制光刻膠的應用，包括過程時間、電流、溫度和壓力。控制器還有一個易於讀取的界面，用戶可以一目了然地調整和跟蹤設置。此外,模型還提供了自動補償功能,可根據溫度、濕度或壓力的任何變化自動更改參數。PSC-101光刻設備是一種方便、高效、準確的光刻工藝工具。它設計方便用戶,提供了廣泛的功能和設置,並且能夠快速準確地將光刻膠塗覆到半導體晶圓上,從而節省了時間和金錢。
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