二手 SEMITOOL PSC-101 #293746635 待售
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SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一種化學濕式工作臺,設計用於處理、開發和剝離半導體器件的光刻膠和光刻膠溶液。SEMITOOL PSC 101的特點是具有單罐浸入能力和化學輸送系統，設計具有高精度和低容積分配能力。它配備了兩個免維護和溫控加熱器，提供最佳蝕刻、抗剝離和化學溶液-薄膜-性能管理，同時超越了多個IC處理協議的要求。所有過程都是用戶可編程的，從而能夠控制所有相關變量，如壓力、溫度、流速和整個過程持續時間。PSC-101還設有一個帶有酸和DI罐支撐的雙排水裝置，以及一個金屬（磁）顆粒過濾機，用於自動清除金屬氧化物顆粒和其他汙染物，減少廢物和處理成本。PSC 101能夠處理直徑不超過8英寸的基板,是一種緊湊、靈活的機器,可輕松集成到現有的光掩模、晶圓和掩模制造系統中。SEMITOOL PSC-101具有高度的可編程性,並提供了可升級性,允許用戶根據其應用程序的確切要求定制該工具。SEMITOOL PSC 101配備了幾個傳感器，以持續監控資產的完整性，並確保光刻膠的一致處理。該型號還配備了強大的四通道遙控接口，用於連接外部過程控制系統。采用水性噴霧沖洗噴嘴結構，液位指示器和復合晶片指示器，PSC-101能夠采用多種加工工藝。此外，該設備還設計了內置安全系統，以保護使用者和敏感化學品。PSC 101提供了一種靈活高效的光刻膠合成和處理解決方案，可以很容易地適應先進半導體應用的需求，如預光子葉片制造、集成光子器件制造或微加工。其高分辨率的加工室、精確的化學劑量單元以及與多個外部過程控制系統的兼容性，使其成為理想的選擇。
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