二手 SEMITOOL PSC-101 #293814168 待售

SEMITOOL PSC-101光刻膠設備是一種可靠、快速、高效的光刻膠處理和開發系統。該裝置用於各種光刻膠應用，包括旋轉塗層、噴塗塗層、顯影、烘烤、篡改和蝕刻。SEMITOOL PSC 101的核心是它的控制器，它對機器的過程參數提供精確、實時的控制。這確保了在整個光刻過程中的端到端可重復性,從而使用戶能夠獲得始終如一的高質量結果。PSC-101利用多種配電裝置、加熱擴壓器和介電電機實現了高度的均勻性和準確性。刀具的容量和柔韌性允許各種光刻塗層參數，如圖案寬度、厚度和運動速度。資產還具有集成的微處理器,可主動監控整個過程中的所有參數。這保證了塗層和顯影序列是一致的和可重復的，並且光致抗蝕劑保持在其最佳水平。PSC 101中使用的介電馬達也保證了自旋板的精確定位。該模型還提供了內置的安全規程，例如電離套件，以保護工作人員在這一過程中不受危險化學品的影響。SEMITOOL PSC-101還允許幹吊墜或濕線工藝,具體取決於用戶的需求。此外，SEMITOOL PSC 101設計用於低壓環境，以防止任何種類的汙染。高容量的化學儲罐、排水槽、儲罐也包括在設備中，允許高效的液體管理。還提供各種配件，以完成光刻過程，如舞臺面具和浸泡浴池。PSC-101光致抗蝕劑系統是一個可靠和高效的單元，設計用於中型到大型光致抗蝕劑的應用。它具有精確和可重復的光刻膠分配和交付，以及集成的安全特性和過程監測協議。舞臺面具、浸水浴等配件也可與機器一起使用，以確保高效專業的效果。