二手 SEMITOOL PSC-101 #9060137 待售

SEMITOOL PSC-101光電抗蝕劑設備旨在為自動剝離後接觸抗蝕劑工藝提供優化的性能。SEMITOOL PSC 101具有可配置的集成化學輸送系統（CDS）,旨在與包括酸或堿性溶液在內的幾乎所有有機和水基化學體系兼容。該裝置能夠精確控制接觸和剝離後抗蝕劑的工藝參數。CDS以車載化學品供應和自動補充的形式提供精確、可重復和可靠的化學品輸送。機器的化學輸送工具包括多個儲層，每個儲層都有自己的獨立計量資產，可以單獨激活，以準確輸送每種化學物質。此外,CDS還包括用於創建精確流程定時序列的數字控制器,以及用於存儲多達99種不同配方的綜合流程參數存儲列表。PSC-101在抗蝕劑的應用方面具有靈活性。它具有多種基板安裝選項,包括但不限於旋轉塗層、噴塗和浸塗。此外，該模型能夠利用廣泛的淋浴頭或噴槍來增加吞吐量。設備還包括一個溫度控制的沖洗室，允許使用者利用需要溫度控制的沖洗和後剝離的過程。溫度控制的沖洗室為用戶提供了受控的介電層，允許高質量和受控的後剝離過程。PSC 101還用作增強過程的平臺，如鈍化層的自動應用。已知自動鈍化層可產生更高的產量，並有助於降低因汙染而產生的故障率。該工藝利用自動電介質塗層分配頭來計量和精確控制多層鈍化。此外,SEMITOOL PSC-101設計方便維護和服務.借助易於訪問的最終用戶可維修模塊,用戶可以快速診斷流程問題,並將設備恢復到最佳性能。SEMITOOL PSC 101光抗蝕劑系統為剝離後的接觸抗蝕劑和其他特種工藝提供可控、可重復的工藝。它的CDS允許精確控制化學釋放和工藝參數，而它的多個安裝選項和峰值性能溫度控制的沖洗室允許用戶充分利用需要溫度控制的沖洗過程。此外，該股還為用戶提供改進質量和降低故障率的流程，並允許通過最終用戶可使用的模塊方便地進行服務和維護訪問。