二手 SEMITOOL PSC-101 #9160266 待售

SEMITOOL PSC-101是為半導體制造應用而設計的光刻設備。它是用於在晶圓上制造集成電路的多步工藝的一部分。光致抗蝕劑系統是光刻過程中的一個關鍵元素，它是利用光刻技術對晶片的頂層進行制圖的。SEMITOOL PSC 101單元是光刻膠模塊和自旋塗層的獨特組合，旨在為整個晶圓提供一致的高品質塗層。它具有一個優化的光刻膠分配頭，旨在提供精確的，可重復的體積一致的光刻膠覆蓋。它還具有先進的旋轉塗層頭，以確保光刻膠在晶片表面上的均勻分布。PSC-101使用自旋塗層將光刻膠鋪在晶圓表面上。分配頭以手動或自動模式精確地將光刻膠施加在晶片上。在塗上光致抗蝕劑後，將晶片紡入自旋塗層，以確保均勻分布。然後，在熱板上演。該機具有專門設計的熱板，為晶圓燒結提供均勻的低膨脹。大型腔室和熱傳感器的設計提供精確的熱讀數。該熱板還設計用於快速的熱斜坡和精確的溫度控制，以獲得最佳的熱性能。PSC 101具有多項為安全和可靠性而設計的功能。其安全聯鎖確保不執行危險程序。其耐腐蝕和耐粉塵，便於維護。它也有很長的壽命，以1年保修為後盾。SEMITOOL PSC-101是一種高效、可靠、經濟高效的半導體制造光刻工具。其精密的分配和旋轉塗層技術提供一致的結果，較少的缺陷和返工。其堅固的設計和可靠的結構使其成為大批量生產和苛刻工藝的理想選擇。使用SEMITOOL PSC 101,客戶可以期待可靠的質量和高效的性能來獲得最佳的產量。