二手 SEMITOOL PSC-101 #9173289 待售

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一種自動化的、功能齊全的濕處理系統,專為光刻膠操作而設計。它是一個模塊化的單元，具有多種功能。它由一個主體組成，裏面裝有不同的設備部件，還有自動裝載機，用來將基板裝入機器。光致抗蝕劑工具由開發和沈積光致抗蝕劑材料的幾個不同過程組成，包括預處理、抗蝕塗層、曝光後烘烤、顯影和帶狀/沖洗過程。各個組件旨在為每個步驟提供最佳性能。預處理工藝包括PECVD，其中底物被氧化，而抗蝕劑塗層工藝設計為均勻地在底物上塗抹光致抗蝕劑。曝光後烘烤工藝旨在硬化光刻膠並使溶劑蒸發，而開發工藝則采用熱噴霧或無電極方法去除非曝光光刻膠。然後,帶狀/沖洗工藝會從晶片中除去剩余的光致抗蝕劑。光刻資產使用SEMITOOL打印模型接口（PSI）軟件控制。設備的操作通過PSI軟件實現完全自動化,從而在所有流程中實現精確、統一和可重復性。除了具有自動加載功能外，系統還可以通過基板加載、手動抵抗調節等多種手動過程進行設置。光刻裝置的設計易於操作、維護和升級。連接功能和遠程I/O功能允許遠程操作、實時監視和機器診斷。該機器還設計用於最小停機時間,有幾種用於預防性維護的選項,包括在mag軌跡超出公差的情況下自動關閉抵抗劑熄滅。總體而言,SEMITOOL PSC 101光阻工具是一種高效、自動化的濕處理資產,旨在為高質量的光阻工藝提供精確、可重復性和最小的停機時間。它具有連接、遠程I/O功能和預防性維護選項等功能,使其成為半導體設備制造、研究和其他光刻膠操作的理想選擇。