二手 SEMITOOL PSC-101 #9194999 待售

SEMITOOL PSC-101光刻膠設備為光刻膠清洗和塗覆晶片提供精確可靠的解決方案。這是通過自動卡帶到卡帶晶片處理過程來完成的，確保每次都有一致的結果。該系統采用現代計算機軟件、高級控制器和高分辨率顯示器，是最先進的。SEMITOOL PSC 101設計為具有高度的過程控制與集成的基於PC的處理計算機。這允許增強功能,例如在處理批次之前預先準備任務、工作組管理和遠程監視功能。用戶還可以存儲特定進程的數據和設置以供重復使用。該單元具有高分辨率顯示器，允許用戶目視檢查光刻塗層厚度和均勻性。它還具有一個快速、可靠的監控機器，能夠檢測出超出規格的光阻。該工具還具有用於檢測表面缺陷的晶圓檢查選項。PSC-101配備了自動熱板，設計用於在不到10秒的時間內在整個晶片上提供均勻一致的光刻溫度。這樣可以確保所有晶片的質量一致。光致抗蝕劑采用分配法或可調節旋轉速度的自旋塗層。這確保了整個處理過程中可重復的結果。光刻膠資產設有兩個可預熱和溫度控制的熱清洗室，以便有效清洗。然後是一個大容量的洗滌選項，可實現高速、高效的洗滌時間。光致抗蝕劑模型通風以保證安全、高效的操作。PSC 101的操作旨在方便用戶使用,為所有設備操作提供清晰的菜單驅動界面。這允許用戶隨時從各種選項中選擇並監視進程的狀態。它還提供多個警報,以提醒用戶註意任何進程問題,從而允許快速響應。總體而言，SEMITOOL PSC-101光刻膠系統為處理和塗覆光刻膠提供了可靠有效的解決方案。通過自動卡帶到卡帶晶片的處理，該單元被設計為提供一致的結果，並且可以適應各種應用。它的用戶友好界面還確保了易於使用的機器，允許用戶快速準確地監控進程的狀態。