二手 SEMITOOL PSC-101 #9206783 待售

SEMITOOL PSC-101是一種光刻設備，設計用於高精度制造過程。該系統設計用於將光刻膠沈積到半導體晶片上，以確保沈積過程的均勻性和準確性。該單元的工作原理是使用紫外線光源在晶片上暴露特殊的光敏塗層，然後形成所需制造特征的負片圖像。SEMITOOL PSC 101具有激光控制的3位級，允許晶片在腔內精確定位和移動。機器還包括一個負載鎖定模塊，其功能是提供足夠的真空和清除過程，以創造一個穩定的樣品環境。該工具還能夠根據光刻膠片的厚度自動調節激光束的焦點。塗層厚度分布通過數碼相機和彩色監視器以視覺方式顯示，使技術人員能夠在沈積過程中準確監控光敏層。PSC-101還包括一系列復雜的控制,例如用於處理晶片的傳送帶資產和自動溫度控制模型。該設備旨在為光刻沈積過程提供高精度、重復性和均勻性。此外，這套系統是為低單位維護和長機器壽命而設計的，允許用戶對機器進行長期投資。最後,PSC 101是將光刻膠層沈積到半導體晶片上的理想溶液.該工具具有出色的控制和精度,以及低維護、長生命周期和高重復性,可用於晶圓的精密制造。