二手 SEMITOOL PSC-101 #9232949 待售

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SEMITOOL PSC-101
已售出
製造商
SEMITOOL
模型
PSC-101
ID: 9232949
晶圓大小: 8"
Cleaner, 8".
SEMITOOL PSC-101是一種光刻帶設備,設計用於將光刻膠薄膜沈積到基板上。SEMITOOL PSC 101將光致抗蝕劑溶液沈積在基材上,然後在烤箱中固化,提供均勻、高分辨率的塗層。PSC-101采用先進的高粘度溶液輸送系統,確保了基板的精確塗層。該單元有多種控制設置,允許用戶修改速度、熱量和其他變量,以達到所需的塗層厚度和分辨率。光刻膠溶液中的感光材料借助內置集成的UV-C光源迅速暴露在紫外線下。這種暴露有助於在基板上形成精確和均勻的塗層,並具有出色的附著力。使用可調節高度的噴嘴可以控制光刻膠的厚度,集成的高分辨率微米有助於確定噴嘴與基板之間的精確間距。SMARTCONTROL軟件使用戶更容易設置光刻膠參數並監控整個不間斷塗層工藝。PSC 101機器還包含一個直列固化皮帶驅動器,使操作員能夠快速啟動和結束其塗層作業。它有一個更大的腔室,有助於在更大的底物中實現均勻的固化。該工具還包括一個可持續調節的空氣淋浴來預熱基板,以及一個靜態耗散的工作面來優化塗層工藝。真空能力有助於加速固化,自動取料主軸設計用於基板的高通量。所有這些特性的結合使得SEMITOOL PSC-101一個理想的光刻帶資產更厚和一致的塗層。對於那些希望為其項目獲得高分辨率結果的人來說,這是一個可靠且經濟高效的解決方案。
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