二手 SEMITOOL PSC-102 #293642734 待售

SEMITOOL PSC-102是一種光刻設備，設計用於在光刻過程中將晶片均勻暴露於化學和光源。該系統由兩個主要組成部分：輸送站和暴露單元.送貨站用於將晶片移入和移出曝光單元。該站有兩個盒式磁帶，每個盒式磁帶最多可容納15個晶圓。晶片使用三軸對準機構從卡帶轉移到曝光單元，該機構將晶片直接從其輸送卡帶對準曝光單元。該單元還使用自動化軟件來控制盒式磁帶、晶圓傳輸和曝光參數。曝光單元是機器的心臟，用來將晶片暴露在光線下。這個單元裝有一個高強度的燈，對於不同類型的光敏材料可以設置到不同程度的輻射。該單元還提供了對曝光時間的精確控制。接觸區域是密封的，提供防塵和其他汙染物的保護。該工具還提供了先進的安全措施，以確保用戶和晶片免受輻射。此外，SEMITOOL PSC 102提供自動化的上下遊過程控制。這包括精確的監控資產,以跟蹤確切的曝光時間和級別,以及保存和召回以前使用的曝光設置的能力。這些特性保證了均勻和可重復的光刻圖樣的產生。總體而言,PSC-102是一個自動化、高效和可靠的光刻圖案模型。它的模塊化設計和安全特性確保晶片能夠在生產過程中驅動,同時提供保護,防止汙染和過度暴露於光線。它的自動化控制和上遊/下遊過程控制設備使創建精確和可重復的光刻膠圖樣變得容易。