二手 SEMITOOL PSC-102 #293820424 待售

SEMITOOL PSC-102光敏設備是一種高性能的處理系統，旨在為各種晶圓應用提供精確的無缺陷光敏塗層和開發。該裝置配備了先進的觸摸屏控件，使機器易於操作和編程。它能夠為用戶提供精確的溫度和濕度控制，以及精確的旋轉速度、計時器控制和浸洗能力。此外,該工具還配備了強大的工藝監控資產,能夠檢查薄膜的均勻性以及厚度等其它臨界抗蝕性參數。SEMITOOL PSC 102型號還配備了用於晶圓表面清潔和光刻膠去除的抗蝕劑剝離模組（RSM）。RSM由超聲波清洗室、基板處理器和幹式風扇臺組成。超聲波室用於確保去除基板，並確保在晶片上塗覆光刻膠之前具有適當的表面清潔度。基材處理器負責提供基材和晶片的清潔，抵抗晶片的剝離和幹燥。最後,幹式風扇臺設計用於快速釋放任何剩余的抗蝕劑,並有助於避免產品浪費和汙染。該設備配有幾個可選組件，如送粉料鬥、空氣淋浴、模塊化高速旋轉站和自動處理系統。粉末輸送料鬥用於存儲和分配磁阻和常規光刻膠。空氣淋浴用於為晶片提供環境和屏障環境，以促進優越的光敏塗層、發展和邊緣完整性。模塊化高速旋轉站提供了額外的靈活性，允許晶圓的低輪廓，確保旋轉過程的高可靠性和準確性。自動化處理系統是為處理各種類型的光刻膠而定制的，包括傳統和現代的先進光刻膠。每個自動化系統的設計都非常小心,以確保可靠和安全的操作。簡而言之，PSC-102光敏裝置是一種高性能的處理解決方案，為用戶提供精確的控制和可靠的性能。它的功能和選項為用戶提供了滿足其需求和要求的各種選項和靈活性。