二手 SEMITOOL PSC-102 #9400846 待售

SEMITOOL PSC-102是為半導體晶圓加工和其他先進光刻應用而設計的先進光刻加工設備。它是一個完全自動化的串聯系統,可提供卓越的流程控制、減少停機時間和提高流程靈活性。該裝置利用濕蝕刻室和自旋塗層室兩個主要子系統，提供完整的光敏處理環境。SEMITOOL PSC 102的濕蝕刻室使用反應性溶液，從晶圓的基板表面移除一層光致抗蝕劑。這是通過機械和化學剝離相結合來實現的。該腔室設有一個精密、可編程的旋轉平臺，便於晶圓均勻旋轉，而精密噴嘴則分配蝕刻溶液。腔室中的紫外線LED提供了必要的光致抗蝕層曝光,從而在蝕刻邊界內實現了更高的分辨率。通過使用可編程氣體通風口進一步加強了蝕刻過程，這有助於在晶圓的整個表面進行高度均勻的蝕刻。自旋塗層室設計用於在晶圓表面上均勻沈積一層薄薄的光刻膠。該室裝有一個精密、機動化的平臺，用於晶圓旋轉，並配有液體分配機，用於精確的溶液輸送。自旋塗層室還配備了渦輪泵機和氣體分配工具，以更好地控制大氣環境和光敏沈積。一個數碼相機和增強的光學輔助檢查過程，以幫助確保最佳的過程結果。PSC-102是先進的光刻加工資產，為光刻和半導體制造提供了高效、自動化的平臺。它提供了卓越可靠的過程控制,減少了停機時間並提高了過程靈活性,以提高產品產量。該模型非常適合先進的光刻應用，非常適合高容量和較小的運行晶片處理需求。