二手 SEMITOOL Raider 312 #9240237 待售
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SEMITOOL Raider 312是一款具有最新高精度光刻技術的先進光刻設備。該系統專為廣泛的光刻應用而設計,包括單掩模、多圖樣和高分辨率成像。突襲者312的特點是三級光源範圍從196 nm深紫外線到11,000 nm波長。該裝置利用三個石英鹵素光源提供最大曝光範圍。此外,該機器還包含幾種先進的光學元件,包括精密可變聚焦光學工具、變焦光學組件和自動對焦資產。這些功能提供了卓越的成像精度和高分辨率功能。SEMITOOL Raider 312的工作臺可容納多達8個不同尺寸和材料組成的基片。該表還具有一個可調節的高度控制模型,用於容納各種厚度的基板和兩個精確定位的對齊階段。為了確保整個晶片的照明均勻,設備還包括一個固定平面反射器和一個反向場散射還原屏蔽。該系統還具有溫度控制選項,允許調整鏡片溫度以最大限度地提高質量。集成的防反射塗層單元還為各種曝光提供了最大的靈活性。Raider 312設計用於處理所有光刻工藝步驟。集成的晶圓處理機允許自動基板加載和對準;和曝光可以在2.5秒內進行。SEMITOOL Raider 312采用全自動閉環校準程序;這樣可以確保所有應用程序的重復性能。該工具還為用戶友好操作提供了一系列標準軟件選項。此外,客戶服務和技術支持可用於資產設置和維護。綜上所述,Raider 312是一款高精度的光刻模型,具有先進的光學和溫度控制系統,具有卓越的成像精度和曝光時間。它的全自動過程和閉環校準保證了一致的性能和可靠性。
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