二手 SEMITOOL Raider ECD 10 #9211215 待售
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SEMITOOL Raider ECD 10是一種光阻塗層設備,提供直徑不超過10英寸的基板的完整、可重復、集成的光阻塗層。該系統每批最多可容納16個晶片,設計目的是在整個基板表面提供均勻邊緣分布的均勻塗層。Raider ECD 10采用雙頭噴霧器設計,可提供高達600mm的令人印象深刻的塗層寬度。顯影頭具有獨特的徑向噴霧射流,可通過清掃運動覆蓋晶片。此解決方案可確保塗層工藝的均勻性和整體表面覆蓋率。SEMITOOL Raider ECD 10配備了基於PC的控制器,可提供全流程控制。它能夠控制單個噴頭參數,如壓力、溶液速度、寬度和過度噴霧,從而確保精確分配到晶圓上感興趣的區域。這種易於導航的菜單程序還可以記錄多達50種工藝配方以及與工藝和性能相關的標準報告。入侵者ECD 10采用卓越的材料,為用戶提供卓越的耐用性和固有的安全性。噴嘴外殼由不銹鋼制成,以確保更長的壽命,噴嘴由陶瓷制成,以減少化學磨損。減少化學磨損。該單元的腔室也采用雙層不銹鋼密封,最大安全。最後,SEMITOOL Raider ECD 10被設計為用途廣泛,與各種化學品和掩蔽劑兼容。機器需要最少的維護,並且可以根據特定的工藝要求輕松調整。
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