二手 SEMITOOL Raider ECD 300 #9223828 待售
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ID: 9223828
Wet process etcher
EFEM
Main body
Monitor rack
Filter
Filter cover
Power box
Parts box
Pallet:
Blower filter
(6) Power supplies.
SEMITOOL Raider ECD 300是一種光刻設備，用於在蝕刻或其他進一步加工之前將不透明的光敏物質施加到半導體晶片的選定部分。這種設備是專門為提供更高的精度和可靠性圖樣的光刻設計。入侵者ECD 300利用電子束誘導化學沈積（EBID）技術，是化學氣相沈積（CVD）的一種變體。電子束被引導到晶片上，在晶片周圍的氣體中產生電子和離子，它們與光敏材料反應，在晶片的選定部分上形成不透明的毯子。這一過程能夠檢測和控制光刻膠從2 um到500 um間距的圖樣，特征尺寸小到0.3 um。SEMITOOL Raider ECD 300提供硬件，旨在提高運行速度，提高可重復性和可靠性。這包括自動聚焦和晶圓調平能力，確保光刻膠圖樣的有效和準確的應用。該系統還配備了自動級旋轉，最短的標線成像時間。Raider ECD 300具有支持各種光阻的能力，厚度從400 nm到1000 nm，具有高長寬比的能力。此外，該裝置還具有先進的真空技術，能夠實現可靠的抗旋塗層，減少粒子排放，並確保延長腔室壽命。SEMITOOL Raider ECD 300的高級控件及其高精度傳感器使光刻膠在晶圓上的應用更加一致。嚴格控制曝光參數可確保晶片表面的厚度均勻,並可精確控制圖樣的臨界尺寸。總體而言，Raider ECD 300是半導體器件制造的理想工具，適用於需要高速精密制圖的應用，如高功率器件處理、SONOS內存、微流體芯片等。這臺機器的先進特性和能力使它成為一個可靠和高效的光刻工具。
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