二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #293652806 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是一款先進的光阻設備，旨在為極細結構提供最佳成像過程。它基於經過SEMITOOL驗證的自動反應離子蝕刻（ARIE）技術，提供卓越的圖像對比度、優選的成像輪廓和高均勻性。SEMITOOL RAIDER ECD-310配備了下一代幹蝕刻離子束源，它只允許幾納米的高分辨率成像和精細蝕刻。該系統還利用反應性離子蝕刻（RIE）來有效去除光刻膠，並采用特殊的輝光放電清洗裝置來控制缺陷。除了提供最佳性能外，Raider ECD 310還旨在降低擁有成本。它是一臺單操作機器，無需單獨蝕刻和清潔步驟。它還使用通用的基板傳輸機器人,可實現高效的掩碼更換和快速的處理速度。RAIDER ECD-310包括一個強大的基於Windows的平臺,以實現高效操作。刀具操作可以調整為具有一系列標準和可選功能可供選擇的單個首選項。這包括跟蹤資產性能和防止成像缺陷的過程監視器,以及基於等離子體的特殊功能,以確保高光刻分辨率。SEMITOOL Raider ECD 310是一種可靠、高性能的解決方案,用於對極其精細的設備結構進行高級成像和蝕刻。它使用了先進的幹蝕刻離子束模型,以確保卓越的圖像分辨率,同時通過消除對多種操作的需求將擁有成本降至最低。其強大的基於Windows的平臺提供了一系列功能和控制,使其非常適合用於生產和研究設置。