二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9236557 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是為高通量精密光刻加工而設計的光刻加工設備。它能夠處理尺寸不超過8英寸的晶片，最小特征尺寸為10微米。該系統采用一種新型的電化學沈積（ECD）工藝,用於光致抗蝕劑的應用.該工藝是為了滿足半導體工業對一致的薄膜輪廓、分辨率和工藝可重復性的嚴格要求而開發的。ECD 310采用了專有抗蝕劑技術和精確的電化學輸送系統的組合來實現這一目標。該裝置具有全自動晶片級，允許快速基板裝卸。這是結合了自動抗蝕劑分配，晶圓曝光和洗滌能力，以有效的光刻處理。利用精密的墊片和噴頭優化了抗蝕劑輪廓,以確保晶片的均勻性,並最大程度地減少工藝的可變性。該機器包括一個阻燃罩和煙霧提取能力，以確保危險材料的遏制。自動化的物料管理功能確保在每個應用程序中使用適當數量的抗蝕劑，並選擇正確的類型，而集成的RI檢測器則能夠對實時反饋和質量控制進行連續監控。該工具已啟用網絡,可用於遠程訪問和監視。這樣就可以遠程監視流程參數,並能夠從外部位置控制儲罐等級。該資產還具有用於原位晶圓檢測的高分辨率視覺模型功能，從而可以在處理前後分析缺陷。SEMITOOL RAIDER ECD-310是一種高通量、精密的光刻加工設備,設計符合嚴格的行業標準.它結合了自動化控制、高精度傳送技術和視覺系統功能,以確保在各種基板上進行高級光刻加工時應用一致、準確和可重復的抗蝕劑。