二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384185 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是一款專為高級半導體器件制造制造大基板的高精度加工而設計的光刻帶設備。它配備了一個專有的雙離子束源，使用一個能夠同時傳遞電子束和離子束的模塊。SEMITOOL RAIDER ECD-310具有獲得專利的雙膜曝光（DFE）系統,可用於優化模式定義。DFE技術利用「軟」電子束和「硬」離子束來暴露單層光致抗蝕劑。這種組合可以改進模式定義,並減少模式傳輸所需的操作數量。ECD 310有一個視場（FOV）,它覆蓋直徑可達200毫米的基板,用於12英寸的標線,精度± 6微米。該單元可配置為用於晶圓洗滌或紅外輻射灰化。機器有一個集成的警報監控工具，引導用戶改變操作參數。Raider ECD 310是一種高效、可靠且用戶友好的光阻處理資產,有助於支持現代半導體制造中的各種復雜性和性能要求。它具有全面的控制界面,可實現高效、準確的處理,並具有管理全面和半規模生產運行的靈活性。此外,它還具有三室安全外殼、內置屏蔽和獨立排氣等多種安全功能。此外,RAIDER ECD-310的自動化功能確保了關鍵流程參數的高準確性,該功能提供了對過程中OBIR的外部控制、監控和記錄。總體而言，這種光刻膠帶模型旨在幫助支持高效、可靠和高精度的基板加工。