二手 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384187 待售

SEMITOOL Raider ECD 310是為精密光刻蝕刻加工而設計的自動抗剝離和清潔設備。該系統用於剝離和清潔半導體工業中蝕刻加工所需的光刻膠和其他基材。SEMITOOL RAIDER ECD-310具有直觀的用戶界面,易於使用和編程。該單元采用可調節的Megasonics模式，為用戶提供了廣泛的蝕刻工藝清潔度優化選項。該機采用雙罐式工具，在清潔應用中提供靈活性和效率。這兩個儲罐都是用封閉式空腔建造的，設計用來限制任何液體溢出。它還具有獨特的多步驟選項,可以顯著提高流程的統一性和完整性。ECD 310利用高效的供暖資產，在過程運行過程中提供統一的供暖剖面。它配備了升降、噴射和擦洗清潔應用。升空模式利用加熱的DI水來達到均勻的水面，以便從基板上升起小顆粒的光刻膠。噴霧模式利用高壓實現晶圓的溫和液體去除。擦洗模式利用超聲波空化能量進行最佳清洗。這種模型高度自動化，具有先進的機器人技術，可以將基板從一個工作站精確轉移到另一個工作站。它能夠處理多種基材，如光掩模、晶片、200mm/300mm和透矽通氣（TSV）。它還具有可編程用於清潔過程配方的機器人部件，並具有允許存儲和召回程序配方的「批處理模式」。ECD 310符合SEMI S2和EHS標準,可安全用於生產。它具有現代化的彩色觸摸屏,易於操作,並提供一系列功能,包括實時流程監控、流程歷史記錄和報告功能。此外,設備是便攜式的,可以在任何地方移動和設置。總體而言,Raider ECD 310是一個先進且用戶友好的自動光刻系統,可幫助用戶完成蝕刻過程。它具有多種功能，符合行業標準，是蝕刻應用的理想選擇。