二手 SEMITOOL Raider ECD #9275234 待售

SEMITOOL Raider ECD是一種光刻設備，設計用於為後端應用創建低k和幹氧化膜堆棧。該系統是一個電子回旋加速器沈積室，結合了紫外線暴露和分解技術，以優化低k材料的制備。該單元利用兩個帶狀隔室，用射頻屏蔽隔開，允許氧化物沈積在基板上，然後在氧化物結構上分解光刻膠。Raider ECD是OEM應用程序和小型晶圓廠的理想機器,因為它經濟實惠、小巧,集成了同軸雙快門工具,使用壽命更長。SEMITOOL Raider ECD具有獨特的設計和特點，有利於多種介電應用。它配有一個預清潔資產，利用特殊的有機和無機化學方法，通過去除任何殘留的天然氧化物來制備底物表面。它利用雙快門模型保護材料不受顆粒和汙染物的影響，同時允許傳統工藝的向後兼容性和標準配方的接受。突襲者ECD通過其獨特的工藝室提供了很高的靈活性。沈積室設計精密沈積氧化物材料，分解室配有先進的細線和特征印刷光刻技術。這種光刻工藝能夠產生多達6種不同的特征尺寸和40納米的最小特征尺寸。此外,SEMITOOL Raider ECD還具有精確速率和偏置控制功能,能夠精確控制電介質的層厚度。入侵者ECD是一款獨特的產品，因其高處理率、低成本、高精度而在光刻膠市場中脫穎而出。它已被證明能在學術和商業應用中提供出色的性能。其獨特的設計和特點使其成為任何光刻膠制造的可靠設備。SEMITOOL Raider ECD是尋求經濟、可靠、精確光刻加工者理想的光刻系統。