二手 SEMITOOL Raider ECD #9300422 待售

SEMITOOL Raider ECD是一種光阻設備，設計用於半導體行業內更大規模的生產和開發應用。它是晶圓處理、光刻塗層、烘烤、對準、步進照相成像、顯影和沖洗的全集成處理系統。該單元具有基於Windows的圖形用戶界面（GUI），便於操作和編程。觸摸屏顯示屏為用戶訪問和直觀菜單提供了許多選項，引導操作員完成光刻任務。它的自動加載器允許晶片快速輕松地加載到機器中。此外，流程步驟可以在軟件中預先定義，允許用戶運行多次曝光的不間斷周期。Raider ECD的特點是板載抗性塗層塗層具有精確的擴散阻擋,可實現精確的塗層厚度-即使在從抗性塗層變為顯影劑時也是如此。它包括一個新設計的帶有加熱輪的抗蝕劑履帶，在每個烘烤周期提供極好的均勻性和可重復性。該工具還具有用於晶圓對準的真空卡盤、用於曝光的梁表、自動對焦頭以及用於旋轉、線性和多重曝光的自動驅動裝置。SEMITOOL Raider ECD還包括一個新的專有開發者噴頭，用於改進上行和雙向操作。它采用開放式框架設計,便於檢修和清潔零件。該資產的吞吐量速度可達每小時300個晶圓,最大晶圓大小可達300 mm。它可以滿足批量和單次光刻過程的需要。Raider ECD旨在提供光刻膠制造過程中的精確度和自動化。它具有直觀的操作員，以確保快速的設置和編程，提供準確的結果與可重復的重復性，並產生可靠的晶圓與一致性。該模型連接到全工廠範圍的自動化網絡,允許用戶從中心位置監視和控制流程。該設備是光刻系統市場的領先者之一，是更大規模生產開發的完美選擇。