二手 SEMITOOL Raider #9029095 待售
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單擊可縮放
ID: 9029095
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
Plating system, 8"
(4) Chambers
Missing parts
Currently installed in a cleanroom
2006 vintage.
SEMITOOL Raider是一種光刻設備,用於半導體工業加工晶圓。該系統用於從半導體晶片中塗覆、剝離和灰化光致抗蝕劑。該單元旨在提供一致且可重復的處理時間、跨晶片的均勻性以及提高的產量。Raider提供了一系列功能來適應不同應用程序的需求。機器可以配置為手動或全自動操作,並且可以針對特定應用進行定制。它還提供了一系列安全功能,包括雙密封門、內置緊急停止按鈕、基於PLC的安全工具、保護操作員的防濺板以及符合靜電要求的外殼。資產包括多個處理室,包括一個預清潔室、一個曝光室、一個輸送室和一個後曝光室。模型的預清洗室用於清潔基板,而曝光室則用於將基板暴露於產品特有的紫外線輻射之下。輸送室是晶圓從一個腔室移動到另一個腔室的地方。最後,曝光後的腔室用於去除曝光後殘留的光致抗蝕劑。該設備具有集成的機械臂,可簡化晶圓處理和提高晶圓吞吐量。臂可以被編程為自動將晶片從起始腔移動到末端腔,以及在加工前後旋轉晶片。機器人手臂能夠被編程為以高達10厘米/秒的速度一次最多移動三個晶片。SEMITOOL Raider設計用於處理多種光敏材料,包括標準水溶液和非水溶液。該系統還可以配置為同時處理多種材料,從而提高效率。此外,還可以對設備進行編程,以便在不同時間處理不同類型的晶圓。機器還設計了一個先進的控制工具,允許用戶監控和調整處理參數,以及設置校準曲線和計時參數。這樣可以確保資產產生的晶片達到最高性能水平。該車型還設計了多種安全功能,以保證操作員的安全。這包括在出現問題時可以快速停止物料輸送的安全關閉閥,以及在操作員需要離開房間時可以用來立即停止設備的緊急停止開關。總體而言,Raider是一個可靠高效的系統,旨在滿足半導體行業的需求。該單元提供快速、精確的處理時間、提高的產量和方便用戶的操作。對於希望提高光刻膠處理能力的公司來說,這是一個很好的選擇。
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