二手 SEMITOOL RFS 500/700 #9216879 待售

SEMITOOL RFS 500/700（Resist Film Stripper）是一種光刻膠設備，用於剝離、清潔和幹燥光刻膠如光刻膠面罩、濺射光刻膠層和光刻膠條紋。它設計用於在一系列晶片或太陽能電池板上或真空環境中剝離和清潔光致抗蝕劑，具有極好的均勻性。RFS 500/700是一個單一的工藝模塊，旨在產生所需的壓力、溫度和流量，以獲得最佳結果。它由一個PD控制器和一個三氣歧管組成，控制必要的公用設施，如凈化、回填和沖洗工藝室。該裝置使用Micro噴霧器用氮和水混合和噴灑光刻劑清潔劑，並去除光刻劑中的任何殘留物，對底層的影響最小。此外，可調節的五點輸送機允許清潔液均勻分配，以確保不發生非均勻的膜去除。光致抗蝕劑剝離清洗後，再用高效真空幹燥。這是借助渦輪真空泵完成的，它產生了一種高速氣流，蒸發了溶劑和加濕的空氣分子，使光致抗蝕劑能夠快速安全地去除。SEMITOOL RFS 500/700的設計目的是提供一致的、可重復的結果,其中包括多種光刻劑去除劑和基板,以及廣泛的溫度、壓力和流速標準。它采用集成電源和通風系統，並通過其專用的安全軟件提供進入工藝室的通道，使工程師能夠監測剝離和清潔過程。總體而言，SEMITOOL RFS 500/700是一種有效和可靠的光致抗蝕劑裝置，能夠在高真空環境下去除各種光致抗蝕劑和基板，以實現極好的均勻性。這是一個理想的機器，任何操作需要安全和一致的剝離和清潔光刻膠和類似的過程。