二手 SEMITOOL / RHETECH EQ242S/PR #293628380 待售
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RHETECH EQ242S/PR是一種最先進的光刻加工設備，旨在實現一致和可靠的光刻結果。它配備了先進的電子束光刻工具和強大的紫外線激光，使其成為光刻應用的綜合解決方案。該設計針對光刻膠的快速、可重復處理進行了優化，確保了優異的工藝效果。它能夠處理各種光刻膠，並且能夠快速的晶圓對準，減少循環時間。該系統由兩個關鍵組成部分組成；真空處理室，包含一個盒式電子束光刻工具和一個紫外線激光燒蝕裝置。該機還配備了行星晶片對準工具，實現精確和可重復的晶片對準。該設計針對電子束光刻工具的最佳性能進行了優化，減少了加工時間，確保了工藝結果的一致性。該資產包括集成過程控制器和數據采集模型。這樣可以精確控制流程和流程參數,並提供詳細的日誌記錄流程結果。該設備還包括一個晶片裝卸系統，用於晶片的裝卸以及環境空氣清洗和底漆。設計與潔凈室兼容，密封工藝室防止外界汙染。SEMITOOL EQ242S/PR是許多工業和研究應用的理想光敏處理單元。其先進的過程控制和數據采集系統確保了精確和可重復的過程結果,其模塊化設計使其能夠輕松集成到現有的過程流中。它的功能使其能夠容納各種光刻膠，使其成為一種用途廣泛且可靠的解決方案，可以滿足各種光刻膠處理需求。
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