二手 SEMITOOL / RHETECH P28SR11S-10001 #9357791 待售

SEMITOOL/RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Equipment是一種高性能、自動化的系統,旨在處理具有光刻膠層的晶片。它具有先進的功能和強大的Servo-Robot控制清潔模塊,能夠處理最具挑戰性的光敏組織,例如化合物和薄膜。該單元由4個主要組件組成-一個工藝室、一個液體處理模塊、一個PLC控制單元和一個排氣單元。該工藝室具有獨特的設計，使機器能夠精確、精確地管理和控制晶圓溫度。它在室內還有一個低壓脈沖等離子體源，用於增強光刻膠的性能。室內產生的等離子體高度一致，非常適合蝕刻和增厚光敏層。該室還配備了兩個安全系統----氧氣感應模塊和氧化鈦毫米過濾器----可以檢測任何氧氣的存在並在緊急情況下關閉該過程。液體處理模塊用於測量、分配和提取光致抗蝕劑過程中的化學物質。此模塊具有精確計量和線性級,可用於特定尺寸的容器。精密計量采用機器人輔助精密來提取和分配液體。PLC（可編程邏輯控制器）用於控制整個過程。這提供了對光刻過程中所有階段的準確和可靠的控制。排氣裝置設計用於捕獲、容納和排出在光刻過程中產生的氣態產物。它具有多種安全功能，以確保工作人員的安全並減少危險煙霧的影響。這些特點包括內置安全閥、消火器以及用於捕獲和管理有害氣體釋放的輔助氣體屏蔽裝置。它還包括一個可選的電離濾波器，以減少靜電積聚的風險。RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Tool憑借其先進的特性和功能,是生產高性能、精確、一致的光刻膠的理想工具。該資產確保了精確的結果和一致的產品質量,使其成為一系列行業的理想工具,包括半導體、光電子等。