二手 SEMITOOL / RHETECH ST 270 #293594925 待售

SEMITOOL/RHETECH ST 270是底物加工業的重要工具。它是一種光致抗蝕劑設備，用於在半導體晶片和其他基板上創建圖案化層，用於微電子元件和微流體器件的生產等應用。它有三個基本成分：一個薄膜，一個鍍鉻或光敏膜，和一個控制器單元。薄膜用作用光照射基板的窗口，並包含一個用來限制光強度的孔徑。鍍鉻或光敏膜是一種光敏材料，旋轉到基板上。當暴露在光線下，感光材料發生反應，改變其化學形成，形成所需的圖樣。控制器允許微調輻照參數。RHETECH ST 270光刻膠系統有幾個特點，旨在增強過程控制。它可以在無損模式下操作，允許在繼續處理的同時多次暴露和測試基板。此外，還包括晶片級識別單元，以最大限度地提高工藝精度。該機器允許將輻照區域精確對準基板,以實現設備生產所需的復雜模式。它的高分辨率動態掃描能力允許較小的特征尺寸和更精細的圖案精度。此外,刀具的高速掃描能力允許縮短工藝周期時間。SEMITOOL ST 270還提供可選的光濾鏡和模式識別軟件作為其遠程控制接口的一部分。這允許用戶細化資產的曝光參數並調整其參數以優化流程。它還具有一個原位清潔選項，在重新暴露基板之前執行。原位清洗過程顯著減少了基板上的排便。總體而言,ST 270光刻膠模型是創建具有快速吞吐量和高重復性的復雜圖案的理想解決方案。它具有多種高級功能,允許用戶針對其特定應用程序優化流程。其光學濾光片、遙控接口和原位清洗選項為用戶提供了高精度應用所需的工藝靈活性和魯棒性。