二手 SEMITOOL / RHETECH ST-470S #9265372 待售

SEMITOOL / RHETECH ST-470S
ID: 9265372
晶圓大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL/RHETECH ST-470S是一種高端光刻設備,旨在將最高質量的圖像賦予各種基板。系統首先使用單點激光器精確定位基板上的抗蝕劑圖樣。然後使用激光將基板分成多個較小單元的網格圖樣,從而可以更精細地控制圖樣保真度。光刻裝置還采用高精度、多軸運動控制機,可提高圖樣分辨率和均勻性。此外,集成軟件允許用戶存儲各種模式設置和精確的阻擋點,以便快速重復,並在更改項目時盡量減少停機時間。RHETECH ST-470S光致抗蝕劑工具利用最新的成像技術來確保精確和可重復的圖案蝕刻。該資產采用連續波(CW)激光器和聲光調制器(AOM),用於精確聚焦和能量水平,以確保一致的蝕刻質量。此外,光致抗蝕劑模型可以很容易地適應透射和反射基板。此外,光學掩模自動與基板對準,提高精度和精度。SEMITOOL ST-470S還配備了一個全面的安全套件,包括一個1級激光外殼,用於額外的保護和安心。此外,該設備還包括溫度控制,以確保最佳的抗粘性和固化.最後,系統配備了多種內置聯鎖,以保護用戶免受設備任何錯誤的光線或雜散運動的影響。總體而言,ST-470S是一個先進的光刻機設計,以提供在蝕刻高保真模式的優化性能。通過利用CW激光、AOM和運動控制等最先進的技術,以及通過創新的設計選擇,如溫度控制和復雜的安全協議,實現了最佳性能。總體結果是一款可靠、精確、用戶友好的光刻工具。
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