二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870是一種光阻設備,旨在使用戶能夠實現關鍵的工藝步驟,例如光阻材料基板的塗層、顯影和成像。該系統配有一個精確的機械臂，該臂到達基板並在光刻過程中經過多個順序步驟。該裝置利用工藝模式和曝光控制軟件進行精確的浴溫控制、照相工藝時間和膠片厚度的預設檢測。此外，該機還配備了用於基板識別的頂置攝像頭、高分辨率監視器和高精度圖像分析工具。RHETECH ST-870支持一系列光刻膠類型，包括正負鉻、ZEP520A、AZ5214E和S1813。它還具有預對準基板、控制曝光階段數、控制濕浴循環時間等特點。該資產配備了全方位的圖像和自動圖像調整，允許用戶以嚴格的精度生產出高分辨率的光致抗蝕劑。SEMITOOL ST-870配備了一個電子控制分配模型，用於將光刻膠精密沈積到剛性或柔性基板中。這種分配設備允許光刻膠在基板上的精確分層，允許用戶以極高的精確度創建錯綜復雜的圖樣。ST-870提供了一個集成的開發系統，能夠提供一致的光刻效果。該開發單元采用具有可調速度設置的垂直旋轉塗層方法,以便在開發周期中獲得最佳效果。該機器允許最多六個沖洗步驟從基板上完全去除光刻膠。SEMITOOL/RHETECH ST-870還設有一個清潔站，其中包括去離子清水、用溶劑清潔、幹燥劑和幹氮，以優化開發後的過程。清潔站的設計是為了確保一致和均勻的清洗過程。總體而言，RHETECH ST-870工具是一個高度通用的光刻膠平臺，具有先進的自動化能力，使用戶能夠在制造光刻膠基板方面取得準確和精確的結果。這一資產適用於廣泛的用戶，從批量生產到規模較小的運營。