二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265368 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870 Photoresist Equipment使用獲得專利和先進的化學開發技術來實現金屬、聚酰亞胺和光致抗蝕劑材料的精確制圖。該系統由四個模塊組成，可獨立使用或組合使用，以創建光刻膠特征。模塊包括一個Mask Aligner，它使用了基於真空的精密圖樣表面和微透鏡來曝光光刻層；攪拌器/散布器，協助將光刻膠均勻分配到基板上；該加熱器便於快速固化以控制結晶，而Refrel則可實現高度蝕刻或去除光刻膠層。Mask Aligner非常適合需要精確且可重復的光刻膠層放置和陣列的應用。該裝置的設計采用了先進的分束光學系統，可產生大的平場曝光，在基板表面上均勻分布能量。這確保了± 0.5微米的功能精度、1.8 kV的低壓工作以及高達1.5 x 1.5英寸的大而穩定的曝光場。混合器/散熱器提供了對光刻膠分配量的精確控制，並具有調節液體以提高塗層均勻性的能力。這為電子應用提供了低缺陷的光刻膠層。各種溫度和攪拌配方可用於定制開發過程的各個方面。該加熱器設計用於光刻層的快速熱固化。這種最先進的加熱器設計可確保溫度穩定性± 0.2攝氏度,並可控制基板溫度。Refrel是清潔聚合物表面的有效工具。它提供了對蝕刻速率和深度的精確控制。它具有一個能夠達到285 °C的加熱工藝室，以及一個能夠為各種工藝步驟提供充分靈活性並有助於減少基板熱沖擊的設計。RHETECH ST-870 Photoresist Machine提供了一系列功能,可在電氣、光電和機械應用的基板上創建可復制的圖樣。該工具為制造商提供了成本節約、精確的圖案和均勻的塗層、生產各種元件的可重復性以及縮短的周期時間。