二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870是一種光刻設備,專為高級蝕刻和圖樣制作而設計。該系統旨在提供各種特征大小和長寬比,並用於為數千種不同的電子元件創建納米級模式。光致抗蝕劑單元包括準分子激光器、光束掃描機、磁刮刀和加熱烤箱。準分子激光束用於照射光刻材料，然後由光束掃描工具對其進行制圖。磁鏟用於將圖樣化的材料轉移到基板上，如矽片。然後用加熱的烤箱烘烤光刻膠以確保表面一致。RHETECH ST-870提供了多種功能來滿足精密蝕刻和圖樣加工的需要。它具有248nm的波長，允許精確的光刻。該資產還為大型部件提供高達40毫米的現場尺寸,並穩定在0.1微米的精度。根據焦點和基板的大小,模型具有可設置為0.1-3 m/min的流量控制。此外,SEMITOOL ST-870還具有主動入射角控制,旨在最大程度地減少陰影和光學損耗。ST-870是一個極好的光刻設備，提供高速光刻，精密圖樣，和先進的蝕刻各種組件。它允許創建具有精確特征大小和完美長寬比的納米級圖案。該系統與各種光刻膠配合使用，使其成為高級蝕刻和圖樣制作工藝的一個通用且可靠的選項。