二手 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369 待售

SEMITOOL/RHETECH ST-870光電抗蝕劑設備是為在晶片上沈積光電抗蝕劑以產生集成電路而開發的設備。光敏材料是用於微電子制造的感光材料，用於將圖樣從光掩模轉移到晶圓或基板的表面。RHETECH ST-870是一個強大而可靠的系統，旨在提供精確的光刻工藝，以滿足超精細的圖案和短特征要求。SEMITOOL ST-870由各種組件組成,從基板對準機器人（SAR）模塊開始,該模塊提供高精度的基板對準,以實現精確的叠加和聚焦。其自動裝載機包含一個特殊的冷卻室，用於保持光刻膠和減少粒子產生。它還配備了板載視覺單元，在晶片加載前檢查其缺陷。該機器還包括一個氣體輸送模塊（GDM），它提供必要的加熱或冷卻氣體來控制沈積室內的溫度和壓力。下一個組件是沈積模塊，它由真空沈積源和雙重烘烤技術組成，提供均勻、快速的晶圓加熱和冷卻。該工具還配備了噴頭，能夠實現各種噴射角度和操作壓力，從而可以更好地控制光阻噴霧圖案。它還利用低流量介電氣泡，確保高長寬比器件的均勻覆蓋。最後，使用高功率脈沖UV TLD光源應用光刻膠。它提供了高度的靈活性,使用戶能夠滿足具有挑戰性的尺寸和緊密的幾何形狀。光源還配備了角鎖，以確保精確的圖案和對準光掩模。該資產可以與標準的8-12英寸、300毫米和450mm等各種類型的晶片一起使用。總體而言，ST-870是一種強大而可靠的光刻膠模型，能夠提供高精度和精確度，從而產生復雜的微電子器件。其自動裝載機和介電氣泡確保光刻膠的光滑均勻塗層。其高功率光源允許精確的陣列和對準，溫度和氣體輸送模塊允許晶圓的均勻加熱和冷卻。SEMITOOL/RHETECH ST-870是有針對性的精密微電子電路制造的絕佳選擇。