二手 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377 待售

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC是晶片基材加工的光刻設備.該系統非常適合IC和MEMS應用等半導體處理,它結合了多種「智能」功能,可提高吞吐量和準確性。在晶圓處理方面，RHETECH WST-306AC使用專有的「微處理」池式加熱器，提供更加均勻精確的溫度控制。該單元還采用SubRack™設計，最多可插入三個小面積模塊。這種模塊化設計允許用戶根據自己的特定需求定制機器。除池式加熱器外，該工具還可配備化學品輸送、廢物處理和烤箱模塊，允許有明顯的使用點或批量操作。SEMITOOL WST-306AC Photoresist Asset采用「智能」技術構建和設計,可提高處理精度和吞吐量。例如，工藝控制器配備了「晶片流」功能，使模型能夠跟蹤整個工藝過程中基板的進展。此功能允許在整個過程中自動檢查預定點的晶圓參數。其他智能功能包括流程配方控制、更快的周期時間和配方跟蹤。采用脈沖反向技術，可以準確控制光刻膠預混、沖洗、烘烤溫度和烘烤時間參數。這種脈沖反向技術能夠以微秒精度進行控制，並且具有很高的可重復性。WST-306AC還具有可減少碎片堆積的光刻灰化工藝。該系統配備了冗余的安全功能,包括過熱保護、覆蓋保護和熱關閉。這些功能可防止操作不當和/或操作錯誤。總體而言，SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unit是半導體晶圓加工的理想工具。它的特點,如「智能」技術、脈沖反向和SubRack™設計,可實現高效和受控的處理,並最大限度地減少浪費和停機時間。