二手 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265378 待售

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC光刻設備是一種高性能光刻處理系統，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。它是一種高度可靠、堅固的裝置，能夠處理直徑達300毫米的基板，工藝可重復性± 2 μ m。此外,該機器還具有極低的擁有成本,並以最小的操作員維護提供最大的吞吐量。RHETECH WST-306AC光致抗蝕劑工具包括提供高精度的機器人基板裝載機、自動基板裝載、卸載和基板演示。SEMITOOL WST-306AC配備了雙腔室選項,提供兩個單獨的腔室來處理基板,以最大程度地減少停機時間和提高生產率。WST-306AC資產上的抗噴劑是一種高精度、低粒度的噴劑，在動態範圍內保持恒定的壓力和/或流動。該模型還具有一個半月板控制環，有助於精確控制噴霧模式和抵抗厚度。該設備能夠以極高的速度精確應用抗蝕劑，而無需在抗蝕劑填充過程中進行人工幹預。SEMITOOL/RHETECH WST-306AC系統與先進的成像光學設備集成在一起,提高了工藝能見度.成像光學器件傳輸超高分辨率圖像,這些圖像可用於提供有關抵抗填充模式的詳細信息。此外,該單元還包含一個高級消息顯示板以顯示過程結果。RHETECH WST-306AC光致抗蝕劑機具塗層玻璃光學器件，具有優異的光學性能，與激光幹涉測量精確對準，可實現最高的效率和精確的圖像處理。該工具還配備了先進的控制資產，允許精確控制抗蝕劑沈積、溫度和壓力。此外，它高度自動化，具有自動基板識別、自動裝卸和先進的自我診斷功能。最後，SEMITOOL WST-306AC作為半導體生產中光敏處理的理想平臺。該模型具有極高的精度、精確的過程控制和尖端的自動化，以有效滿足現代半導體產業的需求。